АО «Зеленоградский нанотехнологический центр»
Генеральный директор: Ковалев Анатолий Андреевич
Адрес: 124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, д. 6
Телефон: +7 (495) 157-66-11, +7 (495) 157-66-22
Факс: информация отсутствует
Электронная почта: info@zntc.ru
Сайт: www.zntc.ru
Организационно-правовая форма: Акционерное общество (АО)
Род деятельности: научные исследования и разработки в области нанотехнологий, разработка и производство высокотехнологичной продукции.
АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) — один из ведущих российских инновационных центров, который занимается разработкой и производством продукции в области микроэлектроники и микросистемной техники: контрактное производство и корпусирование интегральных микросхем, изготовление электронных модулей, разработка сенсоров, преобразователей, фотоники, а также собственного литографического оборудования. Компания также оказывает услуги бизнес-инкубирования и коммерциализации инноваций.
Центр основан в 2010 году в Зеленограде — историческом центре советской микроэлектроники — при участии корпорации «Роснано» вместе с МИЭТ и Зеленоградским инновационно-технологическим центром. Изначально работал как исследовательская площадка и бизнес-инкубатор для стартапов, а за полтора десятилетия вырос в производственный комплекс с уникальными для страны компетенциями — от разработки литографов до чиплетной сборки.
К 2014 году центр располагал производственной линейкой класса 100/10 — комплексом, где совмещены изготовление интегральных схем на пластинах и изделий микросистемной техники (МЭМС, НЭМС, системы на кристалле).
С 2021 года ЗНТЦ взял курс на электронное машиностроение — осознав, что, по оценке самого Ковалёва (ген.директора), за предыдущие десятилетия Россия почти по всем направлениям утратила компетенции по созданию средств производства для микроэлектронки. И за прошедшие 5 лет были достигнуты значительные результаты, как в собственной так и совместной разработке и наладке серийного производства.
Весной 2025 года был завершён первый отечественный фотолитограф «Прогресс СТП-350» с разрешением 350 нм, созданный совместно с белорусской «Планар». Установка работает с пластинами до 200 мм, ртутная лампа заменена твердотельным лазером, производительность — до 63 пластин 150 мм в час. Установка прошла государственную комиссию, а в апреле 2026 года начались продажи — первым серийным заказчиком стала компания «Маппер» из холдинга «Швабе» («Ростех»). Параллельно ЗНТЦ заключил договор с АО «НЗПП Восток» (ГК «Элемент») для отработки серийного производства фотонных интегральных схем на этом оборудовании.
Основные достижения в производстве:
Государственные и иные награды:
Адрес: 124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, д. 6
Телефон: +7 (495) 157-66-11, +7 (495) 157-66-22
Факс: информация отсутствует
Электронная почта: info@zntc.ru
Сайт: www.zntc.ru
Организационно-правовая форма: Акционерное общество (АО)
Род деятельности: научные исследования и разработки в области нанотехнологий, разработка и производство высокотехнологичной продукции.
АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) — один из ведущих российских инновационных центров, который занимается разработкой и производством продукции в области микроэлектроники и микросистемной техники: контрактное производство и корпусирование интегральных микросхем, изготовление электронных модулей, разработка сенсоров, преобразователей, фотоники, а также собственного литографического оборудования. Компания также оказывает услуги бизнес-инкубирования и коммерциализации инноваций.
Центр основан в 2010 году в Зеленограде — историческом центре советской микроэлектроники — при участии корпорации «Роснано» вместе с МИЭТ и Зеленоградским инновационно-технологическим центром. Изначально работал как исследовательская площадка и бизнес-инкубатор для стартапов, а за полтора десятилетия вырос в производственный комплекс с уникальными для страны компетенциями — от разработки литографов до чиплетной сборки.
К 2014 году центр располагал производственной линейкой класса 100/10 — комплексом, где совмещены изготовление интегральных схем на пластинах и изделий микросистемной техники (МЭМС, НЭМС, системы на кристалле).
С 2021 года ЗНТЦ взял курс на электронное машиностроение — осознав, что, по оценке самого Ковалёва (ген.директора), за предыдущие десятилетия Россия почти по всем направлениям утратила компетенции по созданию средств производства для микроэлектронки. И за прошедшие 5 лет были достигнуты значительные результаты, как в собственной так и совместной разработке и наладке серийного производства.
Весной 2025 года был завершён первый отечественный фотолитограф «Прогресс СТП-350» с разрешением 350 нм, созданный совместно с белорусской «Планар». Установка работает с пластинами до 200 мм, ртутная лампа заменена твердотельным лазером, производительность — до 63 пластин 150 мм в час. Установка прошла государственную комиссию, а в апреле 2026 года начались продажи — первым серийным заказчиком стала компания «Маппер» из холдинга «Швабе» («Ростех»). Параллельно ЗНТЦ заключил договор с АО «НЗПП Восток» (ГК «Элемент») для отработки серийного производства фотонных интегральных схем на этом оборудовании.
Основные достижения в производстве:
- Первый отечественный фотолитограф с разрешением 350 нм
- Литограф 130 нм — завершены опытно-конструкторские работы по установке проекционного экспонирования с эксимерными лазерами 193 нм, созданы опытные образцы
- Сборочно-испытательный комплекс — введён в эксплуатацию в январе 2026 года, мощность до 200 000 микросхем в месяц с перспективой масштабирования до 500 000
- Технология 3D-сборки микросхем — освоена в 2021 году; ведутся работы по чиплетной технологии вместе с НИИМА «Прогресс»
- Корпусирование и микросистемная техника: PBGA, FC-BGA, силовая и СВЧ-электроника на GaN(Si), интегральная фотоника для телекоммуникаций
- Экосистема стартапов — с 2011 года поддержано свыше 40 технологических проектов, создано более 120 высокотехнологичных рабочих мест; в 2023 году совместно с МИЭТ запущена университетская стартап-студия
Государственные и иные награды:
- Главный приз премии «ТехноХод-2025» в номинации «Техносуверенитет» — за разработку первого отечественного фотолитографа с разрешением 350 нм
- В сентябре 2026 года Генеральному директору Ковалеву Анатолию Андреевичу присвоено звание Минпромторга России «Почётный работник электронной промышленности»